○ 產(chǎn)品介紹

氣體質(zhì)量流量計(jì)全稱為質(zhì)量流量控制器，其英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡稱MFC)，主要由：流量傳感器、流量調(diào)節(jié)閥、放大控制電路和分流器控制通道等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。質(zhì)量流量計(jì)主要用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。廣泛用于石油化工、冶金、制藥等領(lǐng)域；比如：擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。

○ 適用范圍

廣泛用于石油化工、冶金、制藥等領(lǐng)域；比如：擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。

○ 產(chǎn)品特點(diǎn)

 1、可以任意角度安裝 

 2、良好的線性——多段線性補(bǔ)償 

 3、快速的響應(yīng)速度，穩(wěn)定度高，重復(fù)性好。 

 4、電磁閥使用壽命≥100萬次 

 5、對(duì)零點(diǎn)漂移有效的控制 

 6、傳感器、分流器、精密元器件日本進(jìn)口

○ 技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱	TN-S48氣體質(zhì)量流量計(jì)
流量范圍	(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
調(diào)節(jié)閥類型	電磁調(diào)節(jié)閥
調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)	常閉
安裝角度	任意
流量控制范圍	2%～100%
流量測量范圍	0～100%
響應(yīng)時(shí)間	2s（T98，設(shè)定值的±2% F.S.）
工作環(huán)境溫度	5℃～50℃
精度保證溫度	15℃～35℃
精度	±1.0%F.S.
線性精度	±0.5%F.S.
重復(fù)性	±0.2%F.S.
工作壓差	～5L/min (50～300)kPa(D) 5L/min～10L/min (100～300)kPa(D) 30L/min～50L/min (150～300)kPa(D)
耐壓	3MPa
泄漏率	1×10-8 Pa?m3/s （He）
接觸氣體材料	316L,PTFE,Viton氟橡膠
管路接頭	Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″
供電電源	±15VDC(±5%)  +15V＜100mA,-15V＜150mA	+24VDC(寬電壓+11～+25V), ＜250mA(+24Vdc供電時(shí))
設(shè)定信號(hào)	(0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ	4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V）
流量輸出信號(hào)	(0～5)VDC 負(fù)載能力≤3mA
電氣接頭	D-SUB15,D-SUB9
重量(kg)	0.9

 ○ 免責(zé)聲明 

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