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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:雙靶等離子濺射鍍膜儀(基礎(chǔ)版)

  • 產(chǎn)品型號(hào):TN-PSP180G-2TA
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
雙靶等離子濺射鍍膜儀(基礎(chǔ)版)我公司自主研發(fā)的一款高性價(jià)比等離子濺射鍍膜設(shè)備,具有結(jié)構(gòu)緊湊,簡(jiǎn)單易用。雙靶等離子濺射鍍膜儀(基礎(chǔ)版)的濺射靶為2英寸的標(biāo)準(zhǔn)尺寸,標(biāo)準(zhǔn)配置2個(gè)濺射靶頭,以滿足客戶鍍不同膜的實(shí)驗(yàn)需求。
詳情介紹:
TN-PSP180G-2TA 雙靶等離子濺射鍍膜儀(基礎(chǔ)版)我公司自主研發(fā)的一款高性價(jià)比等離子濺射鍍膜設(shè)備,具有結(jié)構(gòu)緊湊,簡(jiǎn)單易用,集成度高,設(shè)計(jì)感強(qiáng)的優(yōu)勢(shì)。等離子濺射靶為2英寸的標(biāo)準(zhǔn)尺寸,標(biāo)準(zhǔn)配置2個(gè)濺射靶頭,以滿足客戶鍍不同膜的實(shí)驗(yàn)需求。儀器所配電源為150W直流高壓電源,可用于金屬濺射鍍膜,尤其適合金銀銅等貴金屬的鍍膜。


產(chǎn)品名稱
雙靶等離子濺射鍍膜儀-基礎(chǔ)版
產(chǎn)品型號(hào)
TN-PSP180G-2TA
主要特點(diǎn)
  • 自主研發(fā)、高性價(jià)比
  • 具有結(jié)構(gòu)緊湊,簡(jiǎn)單操作
  • 兩只2英寸標(biāo)準(zhǔn)尺寸等離子濺射靶,
  • 150W直流高壓電源,金屬濺射鍍膜
技術(shù)參數(shù)
  1. 1、樣品臺(tái):尺寸φ100mm;到靶面的距離20~35mm可調(diào)
  2. 2、直流濺射頭:數(shù)量2” ×2  
  3. 3、真空腔體:尺寸:φ180mm × 210mm、材料高純石英、全向透明、頂蓋拆卸式
  4. 4、真空系統(tǒng):雙極旋片真空泵 ;抽氣速率:旋片泵:1.1L/S;極限真空:≥0.1Pa
    抽氣/排氣接口:KF16; 真空測(cè)量:電阻規(guī);
  5. 5、濺射電源配置:直流電源 ×1;  max輸出功率:150W,濺射電壓1200V,*大濺射電流50mA
產(chǎn)品規(guī)格
尺寸:500mm ×320mm × 470mm;重量:30kg;供電電壓:AC220V,50Hz;功率1500W

1.鍍膜儀配有通氣接口,可通入保護(hù)性氣體,若客戶需要通入混合氣體,聯(lián)系工作人員自行配置高精度質(zhì)量流量計(jì)以滿足實(shí)驗(yàn)需要。

2.本鍍膜儀標(biāo)配為雙極旋片真空泵,其具有體積小,抽真空快,操作簡(jiǎn)單的優(yōu)勢(shì),若客戶有進(jìn)一步提升真空度的需要,聯(lián)系技術(shù)人員選配分子泵組組成高真空系統(tǒng)。


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