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產品詳情
簡單介紹：
該套CVD系統(tǒng)主要由：材料加熱、真空獲取、氣體測量和等離子發(fā)生器四大部分構成?？梢詽M足日常的大多數(shù)CVD實驗和各種科研要求。該CVD系統(tǒng)是材料制備過程中的理想之選。
詳情介紹：
○ 產品介紹
一體式CVD系統(tǒng)設計緊湊，使用方便。特別是豐富的圖文界面，即使您是**次操作，該系統(tǒng)也能順利引導您很快掌握該CVD系統(tǒng)的使用和操作，您根本無需專業(yè)學習，為您節(jié)省大量的科研時間，真正做到事倍功半！
○ 適用范圍
可以滿足日常的大多數(shù)CVD實驗和各種科研要求。是材料制備過程中的理想之選。
○ 產品特點
1、豐富的圖文信息：全尺寸液晶圖文界面
2、系統(tǒng)高度集成：各個部分均由軟件協(xié)同進行數(shù)據(jù)采集、交換、處理、輸出
3、可使實驗步驟程序化、自動化
○ 技術參數(shù)
工作電壓：AC220/AC110V
工作頻率：50Hz/60hz
工作溫度：25℃～1100℃
測量精度：0.1℃
控溫精度：±1℃
加熱區(qū)長：400mm
恒溫區(qū)長：200mm
射頻頻率：13.56MHz
射頻功率：0～500W（可調節(jié)）
匹配模式：自動匹配
氣體通道：3通道
氣體測量：質量流量計
量程范圍：0～500SCCM
真空設備：分子泵組
真空測量：復合真空計
○ 免責聲明
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